現如今，潔凈技術(shù)已廣泛應用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環(huán)境的內容、指標均不會(huì )相同。所謂無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境控制的內容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無(wú)塵車(chē)間的設計不僅要求對室內的空氣進(jìn)行凈化達到規定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無(wú)塵車(chē)間的建造用材料、裝飾方式不當帶來(lái)的污染，有的無(wú)塵車(chē)間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在 某一需求范圍內的工程學(xué)科。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。

控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。

一、亂流式

空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。

長(cháng)處：構造簡(jiǎn)樸、系統建造本錢(qián)低，潔凈室的擴充比較輕易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵車(chē)間，進(jìn)步潔凈室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統休止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相稱(chēng)長(cháng)一段時(shí)間。

二、層流式

層流式空氣氣流運動(dòng)成一平均之直線(xiàn)型，空氣由籠蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。

長(cháng)處：構造簡(jiǎn)樸，運轉后短時(shí)間內即可變成不亂。

缺點(diǎn)：建造用度比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。

長(cháng)處：治理輕易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達不亂狀態(tài)，不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。

缺點(diǎn)：構造用度較高，彈性運用空間難題，天花板之吊架相稱(chēng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

三、復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進(jìn)步至10級以上，可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之 工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈地道另有二項長(cháng)處：A.彈性擴充輕易； B.維修設備時(shí)可在維修區等閑執行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線(xiàn)包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔 凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線(xiàn)為最相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級進(jìn)步為10~1000級以上，認為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

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